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氮化硅(Si3N4)陶瓷基板


/服務介紹

(一) 技術水平

我們的產品為氮化硅(Si3N4)陶瓷基板,是制造大規模集成電路和封測的基礎材料,見圖 2。事關每個人的日常生活,乃至國家安全(圖 3)。

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圖 2  氮化硅陶瓷基板

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圖 3  氮化硅基板的重要應用領域

 

公司掌握了國內外企業、高等院校和研究院所的先進生產技術和研究成果,設計了國內******氮化硅陶瓷基板自動化生產線,產品經多家用戶檢測和軍方權威機構檢測,驗證結果與國外產品相當,局部優于國外產品。

氮化硅(Si3N4)基板與BeO、Al2O3AlN基板相比較,具有綜合性能******、使用壽命***長(是AlN15~20倍)、可靠性******的特點,詳細如下:

絕緣性好:電阻率=1.0×1015~1016,電阻率約是BeOAlN10倍,Al2O310萬倍

導熱性強:熱導率=80-177(理論值達320),熱導率是Al2O33倍以上,與AlN相當,略遜于BeO

反應靈敏:介電常數=9.4,與Al2O3AlN相當

熱穩定:熱膨脹系數=3,遠低于BeO,比AlN低,約為Al2O31/3

壽命長:耐熱循環次數=2000~5000次,是AlNAl2O315~20倍,大大降低設備折舊成本

抗振動:高模量、機械強度大。

BeO屬于劇毒產品,僅用于要求特殊的航天和導彈戰斗部

Al2O3和是目前價格*********的基板,但是其導熱性和使用壽命遠遠不能滿足第三代半導體產業的要求。

AlN的主要問題是價格高(與Si3N4相當)但可靠性只有Si3N4的十分之一。

Si3N4基板具有向下兼容的特點,無需驗證即可直接替代上述三種基板,不必再次驗證。

隨著Si3N4相基板的產量的增加和價格的下降,將逐步代替原來由Al2O3AlN占據的市場份額,

(二) 新穎性、先進性和獨特性

產品屬于國家核高基領域的軍民兩用卡脖子產品,在細分行業處于領軍地位,市場緊缺,替代進口。

設計了國內******氮化硅陶瓷基板自動化生產線,嚴格的預處理技術和先進的生產技術保證了氮化硅基板在微量元素含量、N/O比值、表面粗糙度、晶粒尺寸和晶間相等方面的嚴格要求,晶格缺陷大大減少了,性能指標大大提升。

形成了既滿足量大面廣的民用產品的要求、還可提供高性能指標的基板和/或基片,形成高低搭配的、*********的系列產品生產技術體系。






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